CАУ ГКНК - cистема управления ростом полупроводниковых кристаллов
Cистема автоматизированного управления спроектирована и изготовлена по заказу ООО «ГКНК» в 2012-2013 годах.
Система CАУ ГКНК предназначена для контроля и управления процессами подготовки, роста и отжига кристаллов – заготовок для будущих полупроводниковых приборов – на территории «Светлана» в Санкт-Петербурге.
Заказчику поставлены два шкафа управления, а также проведены пусконаладочные работы, выполнен электромонтаж шкафов управления.
В систему входят:
- шкаф управления с контроллером ОВЕН ПЛК160 и установленной заказчиком вакуумной подсистемой (пневмоклапаны каналов откачки газа);
- компьютер оператора с мнемосхемой в среде MasterSCADA.
Проект выполнен в два этапа.
- Создание первого комплекта Шкафа и программного обеспечения для обкатки оборудования и технологии (опытная эксплуатация инженерной службой заказчика).
- Модернизация первого комплекта и создание второго по результатам опытной эксплуатации первого комплекта.
САУ обеспечивает:
- в автоматическом режиме - контроль оператором с персонального компьютера с возможностью ручного и автоматического аварийного останова;
- аварийное отключение без выдержки времени по критическим параметрам работы среднечастотного генератора;
- автоматическое отключение при остальных аварийных состояниях с задержкой по времени для возможности принятия решения оператором;
- возможность управления и изменения параметров процесса с правами технолога во время исполнения программы;
- в ручном режиме - управление объектами автоматизации непосредственно с лицевой панели ШАУ без исполнения программы (отладочный режим), на экране компьютера только отображение текущих параметров;
- возможность управления без компьютера, контроль параметров по физическим датчикам;
- индикация информации от датчиков контролируемых параметров;
- выдача отчётов о проведении ростового процесса по запросу оператора;
- сохранение программ проведённых опытов как типовых программ с возможностью последующего воспроизведения типовой программы.
